近日，昆明理工大学陈智/邱建备团队，联合浙大等国内外多家单位，在超精细激光纳米光刻方向取得重要进展，相关研究成果以“25 nm-Feature, 104-Aspect-Ratio, 10 mm2-Area Single-Pulsed Laser Nanolithography”为题在Nature Communications上发表。昆明理工大学陈智教授为论文第一作者，宁波大学钟理京副研究员为共同第一作者，通讯作者为昆明理工大学陈智教授、宁波大学钟理京副研究员、之江实验室马志军研究员、华中科技大学张静宇研究员、新加坡国立大学Cheng-Wei Qiu教授、浙江大学邱建荣教授。昆明理工大学邱建备教授、华南理工大学董国平教授、浙江大学刘小峰副教授、许贝贝研究员、意大利比萨大学Giuseppe Barillaro教授等为该工作做出了重要贡献。该研究工作得到国家自然科学基金重点/面上/青年、云南省兴滇英才支持计划-青年人才等项目的资助。

研究人员巧妙地利用球差增强效应和非线性限域效应，开发了一种湿化学辅助的单脉冲飞秒激光纳米光刻技术（wet-chemical etching assisted aberration-enhanced single-pulsed femtosecond laser nanolithography: WEALTH），实现了25 nm超小孔径、104:1超高深径比、10 mm2甚至cm2级超大面积的孔洞纳米结构制造，性能和指标远超传统光刻技术。WEALTH的发明对于实现大面积、消色差、宽带可调的超透镜、纳米光子结构器件、纳米生物传感检测器件等具有重要意义。

WEALTH技术与传统贝塞尔光束激光加工的性能对比